超純水對水質(zhì)大都要求比較高，根據(jù)不同的應(yīng)用場合又可分為三個級別用水：一級用水，電阻要求大于10MΩ.cm（電導(dǎo)率低于0.1us/cm),主要用于有嚴(yán)格要求的分析試驗(yàn)，包括對顆粒有要求的試驗(yàn)。如高壓液相色譜分析用水。一級水常用二級水經(jīng)過石英設(shè)備蒸餾或反滲透及離子交換混合床處理后，再經(jīng)過0.2μm微孔濾膜過濾來制取。二級用水，電阻要求大于10MΩ（電導(dǎo)率低于0.1us/cm),主要用于無機(jī)痕量分析等試驗(yàn)，如原子吸收光譜分析用水。二級水可用多次蒸餾或反滲透及離子交換等方法制取。三級用水，三級水用于一般化學(xué)分析試驗(yàn)。三級水可用蒸餾或離子交換等方法制取。